Super系列是由Sputter, PLD, E-beam evaporator三种系统共通的平台; 在某些情况可以交互更换功能。

EBS-super是台湾铠柏最新的推出的电子束蒸发设备, 适用于大多数客户的应用尤其适合SiO2或是 Al2O3等绝缘体材料, Super的腔体小， 样品加载速度快十分钟就可以开始镀膜, 全自动镀膜只需要放入载片按下“开始”就可以交给系统自动完成工作。样品可以旋转以及升降十公分的调整工作距离以符合各种工作的可能性。

技术参数：

Vacuum Chamber: 316不锈钢圆柱形腔体，最低outgas的不锈钢材料；

Pumping: PfeifferHipace 700分子泵；
Load Lock: 手动或自动传样片,适合各种形状尺寸的小破片到100mm大的圆片，高真空背景传递；
Process Control: PC Labview自动控制界面，菜单控制，数据获取和远程控制 ；
In-Situ Monitoring & Control: QCM膜厚监控；

Substrate Fixture: 单片衬底夹具。