Adnano-tek JEB Diamond-10设备功能性叙述如下：

可以多腔体协同多工同时工作

离子洗 IBE or Cleaning

电子束蒸发 E beam evaporator

磁控 UHV Sputter

加热Heating

氧化 Oxidation

热蒸发做铟电极的倒装焊 In evaporator

存储腔 storage

原子层沉积ALD

可以做全功能的搭配也可以加装手套箱或XPS等分析设备

不管是使用线性传输或是RDC传输, 我们都很有经验

Adnano-tek UFO 传送腔设备的优点

从技术层面来看球面形腔体是最符合超高真空应用的腔体设计, 因为不管从哪一个角度来说残余气体都很容易被抽走, 也能装置最多数量的零部件

但是当我们遇到要把几个设备子系统连接在一起的时候我们不会做一个两米直径的球形腔体因为造价太高昂也太占空间真空抽速不够的问题很难解决

在量子计算的领域里超高真空是样品制备成功最重要的关键之一, 如何在数个小于5e-10 torr的腔体中运行而且妥善的传送到每一个子系统变得非常重要

Adnano-tek的UFO传送腔内含一支超高真空兼容的机器手臂传送距离达到120cm, 样品大小可以达到6英吋的晶圆, 可以做Z axis, Rotation, and extension

的移动; 样品移动平稳迅速可以保证样品传送的时候真空维持在5E-10 torr内

而且稳定度以及重现性可以达到0.5mm以内的精确度

Adnano-tek的UFO传送腔可以接高达八到十个子系统 (可以装两部电子束蒸发磁控溅射等等, 万一某个子系统故障或是维护中可以继续使用全部功能), 可选配电子束蒸发, 磁控溅射, 氧化室, 原子层沉积, 进样室, 离子洗

占地只要5X5米的大小, 是全世界最小的UHV deposition cluster系统

对于寸土寸金的洁净室而言相当的经济实惠

我们在IBE的腔体前方安置一个非常紧凑的单片进样室, 进样时间为五分钟

也就是说从放样品到可以进到IBE的腔体做梨子洗只需要五分钟; 另外我们外加了一个可以装载10片样品或是MASK的(大型进样室/存储室)可以预先放置十片样品全自动一片一片做完后放回存储室或者单片进样室做出样品

非常的自动且有效率

样品加热---铠柏的强项

不管是10X10mm小衬底已经有数十台安装实绩的成绩或是具有专利的大尺寸激光加热

不管最高温到1200摄氏度或是有氧气, 臭氧, 氧原子离子的环境(UHV 到十个大气压的压力), Adnano-tek 都做过而且帮助科学家们完成最新颖的课题; 出过最顶尖的期刊

在JEB系统上我们具有专利的大尺寸激光加热可以大幅减少腔体过热导致杂质回到样品表面, 可以快速升温或是有序的缓慢降温 (超快降温亦可, 样品会破)

红外测温直接量测样品且反馈表面温度非常精确而且稳定

再加上可以控制各式气体导入倒出; 可以精确环境控制

非常高效的节省电费长期下来对整个实验室的支出会大幅降低

全自动传输在节省人力上也是很惊人的支出会大幅下降

在售后服务方面, Adnano-tek的总部在台湾具有地域上的优势售后快速又能讲相同的语言沟通没有障碍, 在南京有分公司办事处, 硕士技术人员有两位可以随时支援. Adnano-tek铠柏科技在大陆加上台湾已有接近百台的实绩, 用户反馈良好

综上所述, Adnano-tek的技术,性能, 产品占有率, 售后相较于其他进口设备商具有相当大的优势, 再加上能搭配在大陆占有率第一的线性传输系统最能符合及满足高性能的要求