超高真空分子束外延系统MBE-8
2023-10-17 14:01:35


       我们公司的MBE-8可以成长三寸以下的样品,样品温度可以加到900摄氏度,如果是两寸以下的样品可以到1100摄氏度。可以装置8个束源炉,最大容量40cc。配备晶振、束流监控器、高能电子枪以及监控软件。可以装置固体源、气体源/ ALD阀、等离子增强型束源炉(plasma cell)及我们特制的电子回旋共振束源炉(ECR plasma cell)。可装电子枪E-beam。

       我们的腔体是用SUS316不锈钢制作,真空可到2×10-10torr,使用泵有浦发700分子泵与冷泵。内部有全罩式液态氮冷罩,可提供非常大的抽气效率。我们的设备在长二维材料以及拓扑材料、氧化物方面都有不错的性能。如:III-V 族, II-VI 族, Si/SiGe ,金属与金属氧化物(因为我们有独步全球的激光加热器,可到2英寸),以及GaN, AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN,CIGS,OLED 等。